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石英晶圆片是应用最广泛的光学材料，由于它的高纯度，热膨胀系数低，抗拉强度高，高的光传输和独特的电气性能，石英晶圆片广泛应用于PLC 平面波导分光器芯片、MEMS、高科技半导体等。我公司长期生产厚度≧0.1mm，外形尺寸≧Φ2"的高精密度石英晶圆。除常规的Φ4”, Φ5”, Φ6”, Φ8”, Φ12"以外，其它尺寸可以定制。石英晶圆通常有Corning, Nikon, Heraeus 等材质，需其定制它材质的石英晶圆，请联系我们的销售人员。
技术参数
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规格 |
4 inch |
5 inch |
6 inch |
8 inch |
12 inch |
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直径 |
100 ± 0.1 mm |
125 ± 0.1 mm |
150 ± 0.1 mm |
200 ± 0.1 mm |
300± 0.1 mm |
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厚度 |
500 ± 5 um |
625 ± 5 um |
675 ± 5 um |
725 ± 5 um |
900± 5 um |
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粗糙度 |
Ra ≤ 1 nm |
Ra ≤ 1 nm | Ra ≤ 1 nm | Ra ≤ 1 nm |
Ra ≤ 1 nm |
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翘曲度 |
≤ 10um |
≤ 10um | ≤ 10um | ≤ 10um |
≤ 10um |
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平整度 |
≤ 3 um |
≤ 3 um | ≤ 3 um | ≤ 3 um |
≤ 3 um |
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表面质量 |
20/10 |
20/10 | 20/10 | 20/10 |
20/10 |
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形状 |
圆形, 带定位边, 带定位角 |
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倒边 |
45°, SEMI Spec; C Shape |
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材质 |
Corning, Nikon, Heraeus etc. |
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备注 |
石英晶圆可定制 |
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