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蓝宝石晶圆介绍
蓝宝石是氧化铝的单晶，是自然界里硬度第二的材料，仅次于钻石。蓝宝石具有良好的透光性，高强度、抗碰撞阻力，耐磨性，抗腐蚀及抗高温高压，生物相容性，是制作半导体光电子器件的一种理想衬底材料，蓝宝石的电学性质使之成为制作白光和蓝光LED的衬底材料。
我公司长期生产厚度≧0.1mm，外形尺寸≧Φ2"的高精密度蓝宝石晶圆。除常规的Φ2”, Φ4”, Φ6”, Φ8”以外，其它尺寸可以定制，请联系我们的销售人员。
技术参数
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规格参数 |
2 inch |
4 inch |
6 inch |
8inch |
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直径 |
50.8 ± 0.1 mm |
100 ± 0.1 mm |
150 ± 0.1 mm |
200 ± 0.1 mm |
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厚度 |
430 ± 25 um |
650 ± 25 um |
1300 ± 25 um |
1300 ± 25 um |
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粗糙度 |
Ra ≤ 0.3 nm |
Ra ≤ 0.3nm | Ra ≤ 0.3nm |
Ra ≤ 0.3 nm |
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翘曲度 |
≤ 10um |
≤ 10um | ≤ 10um |
≤ 10um |
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总厚度偏差 |
≤ 3 um |
≤ 3 um | ≤ 3 um |
≤ 3 um |
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表面质量 |
20/10 |
20/10 | 20/10 |
20/10 |
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表面状态 |
双面抛光; 单面抛光 |
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形状 |
圆形, 带定位边 |
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倒边 |
45°,C Shape |
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材质 |
蓝宝石晶体 |
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备注 |
蓝宝石晶圆可定制 |
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